Demodulationsphasenfehlerkennung und -kompensation für MEMS-Gyroskope über Temperatur

MEMS-Gyroskope sind wichtige Winkelgeschwindigkeitssensoren in der Trägheitsnavigation, die wegen ihrer geringen Kosten, ihrer geringen Größe und ihres geringen Stromverbrauchs geschätzt werden.mit elektrostatischem Antrieb und kapazitiver Sensorik, und kann als Massen-Feder-Dämpfer-System modelliert werden. Ihre Leistung wird jedoch durch Fehler wie Frequenzspaltung, Steifkoppelung,und insbesondere durch Temperaturinduzierte Demodulationsphasenfehler, was die Produktion mit Nullquote (ZRO) verschlechtert.

Ein Team von der Beihang-Universität, der Zhejiang-Universität und der Nanjing University of Science and Technology schlug eine hochpräzise Methode zur Identifizierung von Phasenfehlern vor, die keine zusätzlichen Instrumente erfordert.Durch Anwendung elektrostatischer Kräfte auf QuadraturkorrekturelektrodenDer Fehler der Demodulationsphase kann über den gesamten Temperaturbereich ermittelt werden, wobei Experimente seine Konsistenz und Genauigkeit bestätigen.

Die Methode, die auf der quadraturspannungsinduzierten äquivalenten Winkelgeschwindigkeit (QIR) basiert, wurde mit der Coriolis-induzierten Äquivalentgeschwindigkeit (CIR) verglichen, wobei vier Quad-Mass-Gyroskope (QMGs) verwendet wurden.Tests bei unterschiedlichen Temperaturen zeigten, dass die QIR-Kompensation eine geringere ZRO und eine bessere Wiederholbarkeit ergab.